[发明专利]用于形成高质量光学涂层的高速沉积

摘要

高速沉积方法包括从产物流沉积粉末涂层。产物流产生自所述流中的化学反应。某些粉末涂层在适当条件下固结为光学涂层。该基底可以具有其上设置光学涂层的第一光学涂层。在固结后所得到的光学涂层可以具有与在下的第一光学涂层较大的折射系数差异、在整个基底上具有高的厚度和折射系数均匀性和在等同条件下于不同基底上形成的涂层之间具有高的厚度和折射系数均匀性。在某些实施例中，可以在不超过约30分钟内沉积厚至少约100nm的粉末涂层，并且基底具有至少约25平方厘米的表面积。

主权项

1、一种在具有第一涂层的基底上形成光学涂层的方法，所述方法包括在第一涂层上从产物流沉积粉末涂层，其中所述产物流产生自所述流中的化学反应，并且其中所述粉末涂层在适当条件下固结为光学涂层，其中所述光学涂层和所述第一涂层在固结之后具有至少约1％的折射系数差异。