[发明专利]含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法以及含该聚合物的抗蚀组合物无效
| 申请号： | 200480021330.3 | 申请日： | 2004-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1826358A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 武部洋子;金子勇 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C08F36/20 | 分类号： | C08F36/20;C08L47/00;C07C43/17;C07C43/172;C07C69/65;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 徐迅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供具有官能团、在宽广的波长区域中具有高透明性的含氟聚合物和由该含氟聚合物构成的抗蚀用组合物。具有下述式(1)所表示的含氟二烯聚合的单体单元的含氟聚合物(A)、其制造方法以及以含氟聚合物(A)为基础的抗蚀组合物。CF2＝CFCH2CH－Q－CH2CH＝CH2…(1)式中，Q表示(CH2)aC(CF3) 2OR4 (a为0～3的整数，R4表示可以具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基、含氟烷基、碳原子数小于等于6的烷氧羰基或者CH2R5 (R5为碳原子数小于等于6的烷氧羰基))或者(CH2)dCOOR6 (d为0或1，R6为氢原子或碳原子数小于等于20的烷基或者含氟烷基)。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 聚合物 及其 制造 方法 以及 组合 | ||
【主权项】：
1.含氟聚合物(A)，其特征在于，具有下述式(1)所表示的含氟二烯环化聚合的单体单元，CF2＝CFCH2CHQ-CH2CR1＝CHR2…(1)式中，R1和R2分别独立地表示氢原子或碳原子数小于等于12的烷基，Q表示(CH2)aC(CF3)b(R3)cOR4或者(CH2)dCOOR6，a为0～3的整数，b、c为满足b+c＝2的0～2的整数，R3为氢原子或甲基，R4表示可以具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基或者含氟烷基、碳原子数小于等于6的烷氧羰基或者CH2R5，R5为碳原子数小于等于6的烷氧羰基，d为0或1，R6为氢原子或碳原子数小于等于20的烷基或者含氟烷基。
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