[发明专利]制造微柱透镜部件的方法及由该方法制造的微柱透镜部件有效
| 申请号： | 200480021502.7 | 申请日： | 2004-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1830053A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制造具有多个微透镜和多个在所述微透镜之间交替间隔的绝缘层的微柱的透镜部件的方法。所述方法包括通过将绝缘层(101)和微透镜(102)阳极接合在一起而形成至少一个第一微透镜部件组(set_1)；将第二微透镜部件组(set_2)分层堆积在所述第一微透镜部件组(set_1)上；以及扫描激光束，从而将所述第一微透镜部件组(set_1)焊接到所述第二微透镜部件组(set_2)的微透镜。本发明的方法进一步包括将所述微透镜部件组阳极接合在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 透镜 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造具有多个在中央位置设置了孔的微透镜和多个在所述微透镜之间交替间隔的绝缘层的电子束微柱透镜部件的方法，所述方法包括：通过将绝缘层和微透镜阳极接合在一起使得所述绝缘层的一部分表面不被所述微透镜覆盖而形成至少一个第一微透镜部件组；在对齐所述微透镜的孔时，将所述第一微透镜部件组分层堆积在第二微透镜或者第二微透镜部件组上，从而所述第二微透镜或者第二微透镜部件组的微透镜与所述第一微透镜部件组的绝缘层接触，同时所述第一微透镜部件组的绝缘层的不被所述第一微透镜覆盖的部分与所述第二微透镜或者第二微透镜部件组的微透镜接触；以及扫描激光束以将所述第一微透镜部件组的绝缘层的没有被所述第一微透镜覆盖的部分通过将所述激光束穿过所述第一微透镜部件组的绝缘层的所述部分而接合到所述第二微透镜或者第二微透镜部件组的微透镜，从而将所述第一微透镜部件组焊接到所述第二微透镜或者第二微透镜部件组的微透镜。
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