[发明专利]动态度量采样方法有效
| 申请号： | 200480021580.7 | 申请日： | 2004-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1830075A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | M·A·珀迪 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于适应性度量采样计划的多种方法以及系统，是可应用于监控多种工艺中。例如，此方法包含：产生多个度量采样规则，将采样加权值分配给各该度量采样规则，确认满足至少一个该度量采样规则的至少一个工件，当确认的工件满足该规则时将该采样加权值分配给各该满足的度量采样规则，以及当该采样加权值总合累积至至少等于预设触发值时指示应予执行的度量操作。在进一步实施例中，此方法包含当该采样加权规则之一的采样加权值总合累积至至少等于预设触发值时，指示应予执行的度量操作，或当该工件之一的采样加权总合累积至至少等于预设触发值时，指示应予执行的度量操作。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 度量 采样 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：产生多个度量采样规则；将采样加权值分配给该多个度量采样规则的每一个度量采样规则；确认满足该多个度量采样规则中的至少一个度量采样规则的至少一个工件；使各该满足度量采样规则的采样加权值与各满足该规则的确认的工件相关联；以及当该采样加权值的累积总合至少等于预定的触发值时，指示应执行的度量操作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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