[发明专利]背面入射型光检测部件及其制造方法

摘要

本发明提供一种背面入射型光检测部件及其制造方法，能够充分缩小安装，并且能够抑制被检测光的散乱。背面入射型光电二极管(1)包括：N型半导体基板(10)、P⁺型不纯物半导体区域(11)、凹部(12)与窗板(13)。在N型半导体基板(10)上面(S1)侧的表层中，形成P⁺型不纯物半导体区域(11)。在面向N型半导体基板(10)背面(S2)的P⁺型不纯物半导体区域(11)的区域中，形成成为被检测光的入射部的凹部(12)。此外，在凹部(12)的外缘部(14)接合于窗板(13)。该窗板(13)接合于凹部(12)的外缘部(14)。该窗板(13)覆盖凹部12，并密封N型半导体基板(10)的背面(S2)。

主权项

1.一种背面入射型光检测部件，其特征在于，包括：第一导电型的半导体基板；第二导电型的不纯物半导体区域，设置在所述半导体基板的第一面侧的表层；凹部，形成于面向所述半导体基板的第二面的所述不纯物半导体区域的区域上，被检测光进行入射；和窗板，以覆盖所述凹部的方式与该凹部的外缘部相接合，使所述被检测光予以透过。