[发明专利]静电吸引型流体排出装置和静电吸引型流体排出方法以及使用该装置的描绘图案形成方法有效
申请号: | 200480022260.3 | 申请日: | 2004-08-05 |
公开(公告)号: | CN1832810A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 西尾茂;岩下広信;山本和典;村田和広 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社;柯尼卡美能达控股株式会社;独立行政法人产业技术总合研究所 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 静电吸引型流体排出装置从电源往喷嘴与绝缘衬底之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的排出材料供给电荷,并使该排出材料从喷孔排出到绝缘衬底。喷嘴孔径为φ0.01μm~φ25μm,并且电源输出频率为大于等于1Hz的正负两个极性翻转的双极性脉冲电压,作为驱动电压。 | ||
搜索关键词: | 静电 吸引 流体 排出 装置 方法 以及 使用 描绘 图案 形成 | ||
【主权项】:
1、一种静电吸引型流体排出装置,从驱动电压施加单元往喷嘴与排出处构件之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的流体供给电荷,使该流体从喷孔排出到所述排出处构件,其特征在于,所述喷嘴的孔径为φ0.01μm~φ25μm;所述驱动电压施加单元输出频率为大于等于1Hz,并且正负两个极性翻转的双极性脉冲电压作为所述驱动电压。
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