[发明专利]涂覆或改性表面的方法和设备无效
申请号: | 200480022357.4 | 申请日: | 2004-07-29 |
公开(公告)号: | CN1833051A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 斯特凡·迪克霍夫;拉尔夫·维尔肯 | 申请(专利权)人: | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/453 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 顾晋伟;刘继富 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 根据用来涂覆或改性表面(41、42)的本发明方法和本发明设备(2),沿加热丝(14)引导含有一种或几种前体化合物的第一气相(10)或第一气溶胶的流(6),以这种方式将前体化合物转化为反应性化合物。作为替代方案,可沿加热丝引导非活化颗粒,以使其活化并随后与含有几种前体化合物的气相(10)或气溶胶一起被引导。结果,前体化合物转化为反应性化合物。将根据已知两步骤中的至少其一所形成的反应性化合物引导至暴露于大气压力下的基材上,从而使它沉积在所述一层上或改性其表面。 | ||
搜索关键词: | 改性 表面 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.涂覆或改性表面的方法,包括以下步骤:a)提供第一气相(10)或第一气溶胶,其包含一种或多种前体化合物,所述前体化合物可以通过在丝(14)上加热和/或通过与活化颗粒反应而转化成一种或多种反应性化合物,所述反应性化合物i)可以沉积在基材(40)上形成层或ii)可以改性基材表面(41、42),b)-沿第一加热丝(14)引导第一气相(10)或第一气溶胶的流(6)和/或-沿加热丝或沿第一和/或第二加热丝引导非活化颗粒,从而使其活化,并将第一气相(10)或第一气溶胶的流(6)与活化颗粒混合,以使活化颗粒与所述前体化合物反应,从而使所述前体化合物转化为反应性化合物,形成反应性化合物之后,流动物中的总颗粒流密度为>10mole/(m2s),c)将根据步骤b)所形成的一种或多种反应性化合物引导至基材(40)上,从而i)在基材上沉积层或ii)改性基材表面(41、42)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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