[发明专利]具有可用户化性能的高分辨度比例阀的流动系统无效
| 申请号： | 200480022403.0 | 申请日： | 2004-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1833133A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | R·M·麦米兰;E·L·汉金森 | 申请（专利权）人： | 麦克米伦公司 |
| 主分类号： | F16K31/12 | 分类号： | F16K31/12;F16K31/36;C23C16/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种流动系统，包括化学惰性材料(聚四氟乙烯)制成的比例阀，可使包括惰性液体、高纯度液体、乃至高腐蚀性液体的流体流量变化。还可以对许多气体进行流量控制。对所要求的流体的各种流量，这种阀门可以手动或利用伺服电动机精确地进行远程或电子设定。通过将特定比例的流动参数编程到阀门结构和配置中，这种阀门能够对各种复杂的流动条件(压力、温度和粘度)提供精确和可重复的高分辨度的流量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用户 化性 分辨 比例 流动 系统 | ||
【主权项】：
1.一种流体流量控制器，包括：壳体；所述壳体上的流体入口；所述壳体上的流体出口；流体容腔，位于所述壳体的所述流体入口和所述流体出口之间；沿所述流体容腔一部分的可调隔膜件；和控制所述可调隔膜件位置的致动器，以调节经过所述壳体的流体流量。
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