[发明专利]制作用于后续检查的测试图案无效
申请号: | 200480022421.9 | 申请日: | 2004-07-07 |
公开(公告)号: | CN1833165A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 卡尔·尚茨 | 申请(专利权)人: | 亚系自动化系统有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01R31/309 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 德国多*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于对设有预定图案的基板(1),特别地具有焊锡膏施加的电路板,进行检查的方法和装置。根据本发明,对通过印刷或构造工序(3、4)置于基板上的实际图案(1a)进行光学检测,将光学检测到的实际图案与指定图案进行比较,而且根据该比较并且同时考虑容许公差,确定将所观察的设有实际图案的基板递送到哪一附加工序。按数字数据的形式进行对实际图案的光学检测,同时形成实际数据集,根据用于将图案施加至基板的控制数据来格式化指定数据集,并且接着执行数据处理,其间,在考虑容许公差的同时,对该指定数据集和该实际数据集相互按数据进行比较。 | ||
搜索关键词: | 制作 用于 后续 检查 测试 图案 | ||
【主权项】:
1、用于对设有预定图案的基板(1)进行测试的方法,其中,光学检测(6)通过印刷或构造工序(3、4)施加到基板(1)的实际图案(1a),对光学检测到的实际图案(1a)与一希望图案进行比较(8),根据所述比较(8)并且考虑容许公差,确定要将所观察的设有实际图案(1a)的基板(1)递送到哪一个进一步的工序,所述方法的特征在于:按数字数据的形式实现对实际图案(1a)的光学检测(8),从而形成实际数据集(7),根据用于将所述图案施加到所述基板上的控制数据来格式化(2)希望数据集,以及执行数据处理以达到以下效果,即,在考虑容许公差的情况下,对所述希望数据集和所述实际数据集相互按数据进行比较(8)。
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