[发明专利]生物传感器及其制造方法

摘要

一种电化学生物传感器，具有电极元件，电极元件具有平滑且高质量的边缘。这些平滑的边缘限定了电极、电极迹线和接触垫片之间的间隙。由于利用本发明可实现极好的边缘平滑度，因此间隙可以非常小，这就在测试精度、速度和可集成到单个生物传感器中的功能数量等方面提供了显著的优点。另外，本发明还提供了新颖的生物传感器的生产方法，在该方法中，用于本发明的生物传感器的完整电极图形可在纳秒级的时间内同时形成，而不管电极图形的复杂程度或者在形成电极图形时必需烧蚀掉的导电材料量如何。

主权项

1.一种生物传感器，包括：具有形成于其上的第一和第二电极元件的基体衬底；所述第一和第二电极元件具有相应的第一和第二边缘，在所述第一和第二边缘之间限定了间隙，所述间隙具有宽度和长度；所述第一边缘与第一理论线间隔开沿所述间隙的长度而变化的第一距离，所述第一理论线限定了所述第一边缘的预期形状和位置，所述第一距离的标准偏差在所述间隙的整个长度上小于大约6μm；至少部分地覆盖所述基体衬底的试剂；和层叠在并粘合在所述基体衬底上的一个或多个层，所述一个或多个层相互配合以形成用于生物传感器的样品接受腔和盖子，所述试剂的至少一部分和电极定位在所述腔内。