[发明专利]具有形成图案的包层的平面波导及其生产方法无效
| 申请号： | 200480023545.9 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1836179A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | I·A·麦克斯维尔;D·库库尔吉;R·查特尔斯 | 申请（专利权）人： | RPO私人有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/138 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 一种具有形成图案的包层(60)的集成光波导，该形成图案的包层(60)限定了一开口，使得光传输元件(13)的至少一侧或至少一端(32)是空气包层的。该空气包层的区域优选为与波导(30)成为一个整体的透镜结构或位于波导内的弯曲处。一种制造具有形成图案的包层的光波导的方法，其包括：在部分衬底上形成遮挡层(110)，其中，该遮挡层(110)形成图案且对预定的波长不透明，该衬底对该波长透明；从上方使该芯层形成图案以提供光传输元件；在该光传输元件上和/或在该形成图案的遮挡层上和/或在该衬底的未覆盖部分上沉积上包层，该上包层包含能通过曝光于该波长的光(116)来固化的材料；用该波长的光(116)从下方照射所述上包层，以使所述上包层中那些没有位于所述形成图案的遮挡层上方的部分固化；以及将所述上包层的未固化部分移除。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 形成 图案 包层 平面 波导 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于生产集成光波导的方法，其中，上述集成光波导具有形成图案的上包层，该方法包括以下步骤：a)在衬底上沉积芯层，二者之间可以有、也可以没有下包层；b)使所述芯层形成图案以提供光传输元件；c)在所述光传输元件上沉积上包层；以及d)使所述上包层形成图案以提供至少一个区域，且在上述区域内，所述光传输元件是空气包层的。
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