[发明专利]用于时间序列变换脉冲分光计测装置的时间序列信号取得的光程差补偿机构

摘要

一种提供时间序列变换脉冲分光计测装置，其可容易地在短时间内进行多种试样或其状态等的时间序列变换脉冲分光计测。本发明的时间序列变换脉冲分光计测装置具有：脉冲激光光源；分割装置，其将来自该脉冲激光光源的脉冲激光分割为激发用脉冲激光光束和检测用脉冲激光光束；脉冲光辐射装置；检测装置；保持试样的试样保持部；试样部射入射出光学系统，具有：至少一个测光区域设定用的光程变更装置，其配备在从分割装置到脉冲光辐射装置的入射侧光路及/或从分割装置到检测装置的检测侧光路的任一个；至少一个时间序列信号测定用光学延迟装置，其配备在从分割装置到脉冲光辐射装置的入射侧光路及/或从分割装置到检测装置的检测侧光的任一个。

主权项

1、一种时间序列变换脉冲分光计测装置，其具有：脉冲激光光源；分割装置，该分割装置将来自该脉冲激光光源的脉冲激光光束分割为激发用脉冲激光光束和检测用脉冲激光光束；脉冲光辐射装置，该脉冲光辐射装置通过进行所述激发用脉冲激光的照射，辐射含有远红外波长区域的波长的脉冲光；检测装置，该检测装置检测来自试样的反射或透过脉冲光的电场强度的时间序列信号，所述试样是照射来自该脉冲光辐射装置的脉冲光；保持试样的试样保持部；试样部射入射出光学系统，该光学系统将来自该脉冲光辐射装置侧的脉冲光导向试样，同时将通过进行该照射而从试样反射或透过的脉冲光导向检测装置，其特征在于，具有至少一个测光区域设定用的光程变更装置，其配备在从所述分割装置到所述脉冲光辐射装置的入射侧光路及/或从所述分割装置到所述检测装置的检测侧光路；至少一个所述时间序列信号测定用的光学延迟装置，其配备在从所述分割装置到所述脉冲光辐射装置的入射侧光路及/或从所述分割装置到所述检测装置的检测侧光路。