[发明专利]具有耐腐蚀层的陶瓷制品、结合了该陶瓷制品的半导体加工设备以及制造陶瓷制品的方法

摘要

提供了一种制品，该制品包括基材和在该基材上的耐腐蚀涂层。该基材通常主要由氧化铝组成，耐腐蚀涂层与基材直接接触，因此在基材和耐腐蚀层之间不存在中间层，例如高温处理过程生成的反应产物。耐腐蚀涂层通常主要由稀土氧化物组成，其粘合强度不小于约15兆帕。根据特定的实施方式，所述制品是用来加工半导体晶片的半导体加工设备中所用的陶瓷部件。

主权项

1.一种陶瓷制品，该制品包括：主要由氧化铝组成的基材；和在所述基材上的主要由稀土氧化物组成的耐腐蚀涂层，所述耐腐蚀涂层与所述基材直接接触，使该陶瓷制品在所述基材和所述耐腐蚀涂层之间不存在中间层，所述耐腐蚀涂层的粘合强度不小于大约15兆帕。