[发明专利]用于样本检测和处理的高分辨率动态定位机构

摘要

一种样本定位机构(10)包括：可沿多根轴线运动的一可运动平台(12)；与一样品安装夹盘(14)连接以将它支承的一板(35)；多个线性位移机构(36、38)，这些线性位移机构将板与可运动的平台耦合，并且在可运动的平台和板之间的不同位置处互相间隔开，并可对它们进行控制以改变平台和板之间的距离；以及与可运动平台和板工作耦合的一挠性件(22)。该挠性件在三根运动轴线上进行顺从运动。该挠性件响应线性位移机构的线性位移而允许样本安装夹盘沿三根进行顺从运动的轴线进行线性运动和绕这些轴线进行旋转运动。

主权项

1.一种高分辨率样本动态定位机构包括：一可运动的平台，该可运动的平台可操作以沿多根轴线的方向的运动；一板，该板与一样品安装夹盘工作连接以将它支承；多个线性位移机构，这些线性位移机构将该板与该可运动的平台耦合，这些线性位移机构在可运动的平台和板之间的空间中的不同位置处互相间隔开，并可对它们进行控制以改变不同位置处可运动的平台和板之间的空间距离；以及一挠性件，该挠性件与可运动的平台和板工作连接，该挠性件在三根运动轴线上的运动受限制，而在另外三根不同的运动轴线上进行顺从运动，该挠性件响应线性位移机构的线性位移而允许该样本安装夹盘沿三根进行顺从运动的运动轴线进行线性运动和绕这些轴线进行旋转运动。