[发明专利]用于激光系统中偏转单元的包括金刚石基底的反射镜、用于制造该反射镜的方法及用于激光系统的偏转单元无效
| 申请号： | 200480024314.X | 申请日： | 2004-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1842728A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 汗斯·科林格尔;汗斯·于尔根·梅尔;丹尼尔·麦兹 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B26/10;B23K26/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了一种用于激光系统中的电流偏转单元(3，4)的反射镜(42)。所述反射镜(42)包含一个由金刚石材料制成的反射镜基底(10)，该反射镜基底也可以由较小的金刚石部分结合而成。根据本发明的金刚石基底(10)与常规的反射镜基底(32)相比具有较高的刚性和较小的厚度(d2)，因此在激光系统中可以有较高的工作速度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 系统 偏转 单元 包括 金刚石 基底 反射 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光系统中偏转单元的反射镜，包括一个至少在一侧上包含反射表面(11)的平的反射镜基底(10；20)，其特征在于，所述的反射镜基底(10；20)是由金刚石制成的。
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