[发明专利]形成光学图像的方法、用于执行所述方法的设备以及使用所述方法制作装置的处理

摘要

通过大量子照射在抗蚀剂层(5)中形成光学图像，在每个子照射中使用光阀阵列(21－25)和相应的光会聚元件阵列(40)在抗蚀剂层中形成斑点图案。在子照射之间，抗蚀剂层(5)相对于阵列(21－25，40)移动。测量所述抗蚀剂层(5)中的光学图像的比例，并且将该比例与需要写入的图像比例进行比较。如果它们之间存在差异，则物理改变光学会聚元件(43)之间的间隔以调节衬底比例。

主权项

1.一种在辐射敏感层中形成光学图像的方法，所述方法包括下面的步骤：提供辐射源(17)；提供辐射敏感层(5)；在所述辐射源(17)和所述辐射敏感层(5)之间定位多个单独控制的光阀(21-25)；在所述光阀(21-25)和所述辐射敏感层(5)之间定位包括多个辐射会聚元件(43)的光学元件(40)，使得每个会聚元件(43)对应于一个不同的光阀(21-25)，并且将来自对应光阀的辐射会聚到辐射敏感层(5)中的斑点区域上；一方面，通过扫描所述层(5)在辐射敏感层区域中同时写入图像部分，另一方面，相关的光阀/会聚元件对彼此相对并且根据将被所述光阀(21-25)写入的图像部分在开和关状态之间切换每个光阈(21-25)；所述方法的特征在于下面的步骤，测量所述写入的图像部分，并且将其比例与通过光阀(21-25)需要写入的图像部分的对应图像比例进行比较，来确定在它们之间是否存在差异；如果存在差异，调节所述图像比例，以便与所述测量的比例一致；其中所述调节步骤包括物理改变彼此相对的一个或者多个相邻辐射会聚元件(43)之间的距离。