[发明专利]静电驱动可锁止致动器系统

摘要

一种静电驱动可锁止致动器系统具有致动器和一对在致动器相对端的侧受动器。致动器弹性地支撑到衬底并当电吸引到侧受动器之一时可沿着两个操作位之间的线性轴移动。提供锁止机构以机械锁止致动器在任一操作位位置上。侧受动器可沿着正常位置和接近致动器的移动位置之间的线性轴朝向或远离致动器移动。两个侧受动器也弹性地支撑到衬底以通过静电吸引到那里移向致动器并通过回弹力远离致动器。相应于侧受动器之一被吸引到致动器，移动的侧受动器通过机械连杆联锁到锁止机构以致解开致动器，并允许致动器从一种操作位向另一种操作位移动以再次锁止在那里。

主权项

1.一种静电驱动可锁止致动器系统，包括：衬底；致动器，支撑在所述衬底上以沿越过空档位的两个操作位之间的线性轴可移动，所述致动器被连接到物体用以移动物体，所述致动器在其相对端分别形成有关于所述线性轴的中央电极，并弹性支撑到所述衬底以提供弹簧偏置，通过其所述致动器向所述空档位偏移；第一和第二侧受动器，支撑在所述衬底上并分别设置在所述致动器关于所述线性轴的相对端上；所述侧受动器分别形成有与所述中央电极保持静电耦合关系的侧电极；驱动装置，在所述中央电极和所述侧受动器之间形成静电吸引力以驱动所述致动器进入所述两个操作位的任一个；锁止装置，当所述致动器移动到所述一个位置时，克服所述弹簧偏置而把所述致动器锁止在所述操作位之一，和解开装置，解开所述致动器以允许它移出所述一个操作位到另一个操作位，其中所述侧受动器可以沿着所述线性轴在正常位置与接近所述致动器的移动位置之间朝向和远离所述致动器移动，当所述侧受动器之一移动到其移动位置时，所述解开装置与所述侧受动器的移动联锁(interlock)以解开所述致动器，从而允许所述致动器移出所述操作位之一，并通过在所述一个侧受动器和所述致动器之间形成的静电吸引力允许其移动到另一个操作位。