[发明专利]涂有介电层的基材及其制造方法和制造装置无效
| 申请号： | 200480024728.2 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1842500A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | C·博贝;K·菲舍尔;M·勒尔根;J·－C·吉龙;N·纳多;E·马特曼;J·－P·鲁索;A·霍夫里希特;M·扬森 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃厂 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C03C17/245;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘维升;段晓玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及其上面涂有至少一层电介质薄层的诸如玻璃基材的基材(1)。按照本发明，借助于比如磁场辅助和优选在氧和/或氮存在下的反应性的阴极雾化，在曝露在来源于离子源(4)的至少一束离子束(3)的条件下沉积电介质层。本发明的特征在于，所述曝露在离子束下的电介质层被结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 涂有介电层 基材 及其 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.基材，特别是玻璃基材，其涂布有至少一层电介质薄层，该薄层通过阴极雾化，特别是磁场辅助和优选在氧和/或氮存在下的反应性的阴极雾化，通过曝露在至少一种来自于离子源(4)的离子束(3)下沉积，其特征在于，曝露在离子束下的所述电介质层是结晶的。
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