[发明专利]微电子机械系统开关无效
| 申请号： | 200480024749.4 | 申请日： | 2004-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1842886A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | R·J·T·班彦;D·J·坎布斯;K·M·布伦森 | 申请（专利权）人： | 秦内蒂克有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H57/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种微电子机械系统(MEMS)开关包括固定触点(24)和电枢(30)上的可动触点(35)。该开关具有与固定触点以及可动触点均相关用于提供静电开关操作的电极(22，34)，以及具有相关的电极(36，40)用于通过施加电压使电枢弯曲并提供初始压电开关操作以及后面的静电切换和夹紧的压电材料。电枢具有弯曲形状，当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离固定触点。这使得处于OFF状态时开关间隙较大，比如3pm，该间隙通过适于静电开关闭合的压电操作而减小。通过改变在电枢厚度上的应变提供一种弯曲状态，并且该弯曲状态在开关制造过程中产生。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 开关 | ||
【主权项】：
1.一种包括固定触点(24，42)和电枢(30)上的可动触点(35)的微电子机械系统开关，其特征在于，电极(22，34)与固定触点以及可动触点均相关，用于提供静电开关操作；具有相关的电极(36，40)的压电材料(37)，用于通过施加电压而使电枢(30)弯曲，并且提供压电开关操作；具有下面的弯曲形状的电枢，即当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离所述固定触点(24)；该布置使得压电材料(37)的操作将电枢弯向固定触点(24)，并且将可动触点(35)弯曲成基本平行对齐固定电极，从而在来自静电电极(22，34)的静电力作用下夹紧固定触点和可动触点。
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