[发明专利]电极基板、薄膜晶体管、显示装置、及其制造方法无效
| 申请号： | 200480024872.6 | 申请日： | 2004-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN1846312A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 安藤正彦;足立昌哉;佐佐木洋;若木政利 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/1368;G06K19/00;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明将下部电极利用为光掩模，在绝缘膜上形成与下部电极大致同一图形形状的疏液区域和大致反转图形形状的亲液区域，在亲液区域内涂敷烧结导电性油墨，对下部电极自对准形成大致反转图形形状的上部电极，所以即使采用印刷法也不发生位置偏移。因此，可以用印刷法形成有源矩阵型薄膜晶体管基板等的半导体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 薄膜晶体管 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电极基板，在基板上依次层叠下部电极、表面上具有疏液/亲液区域的绝缘膜、以及上部电极，其特征在于，下部电极和绝缘膜表面的疏液区域的图形形状大致一致，上部电极主要形成在绝缘膜表面的疏液区域以外的亲液区域上，其图形形状为将下部电极的图形形状大致反转的自对准的形状。
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