[发明专利]半导体受光元件及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200480025324.5 申请日: 2004-11-30
公开(公告)号: CN1846314A 公开(公告)日: 2006-10-11
发明(设计)人: 田中章雅 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: H01L31/10 分类号: H01L31/10;H01L31/02
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及可保持机械强度,同时能充分小型化的半导体受光元件等。所述半导体受光元件具备层构造体和玻璃基板。层构造体由顺次叠层的抗反射膜、n型(第一导电型)高浓度载流子层、n型光吸收层和n型覆盖层构成。在层构造体的抗反射膜侧隔着二氧化硅膜与玻璃基板接合。玻璃基板相对于入射光为光学透明。
搜索关键词: 半导体 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体受光元件,叠层有多个化合物半导体层,其特征在于,具备:包含所述多个化合物半导体层的层构造体;设置在所述层构造体的光入射面侧的二氧化硅膜;和在所述层构造体的光入射面侧隔着所述二氧化硅膜接合、相对于入射光为光学透明的玻璃基板。
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