[发明专利]半导体受光元件及其制造方法无效
申请号: | 200480025324.5 | 申请日: | 2004-11-30 |
公开(公告)号: | CN1846314A | 公开(公告)日: | 2006-10-11 |
发明(设计)人: | 田中章雅 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10;H01L31/02 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及可保持机械强度,同时能充分小型化的半导体受光元件等。所述半导体受光元件具备层构造体和玻璃基板。层构造体由顺次叠层的抗反射膜、n型(第一导电型)高浓度载流子层、n型光吸收层和n型覆盖层构成。在层构造体的抗反射膜侧隔着二氧化硅膜与玻璃基板接合。玻璃基板相对于入射光为光学透明。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体受光元件,叠层有多个化合物半导体层,其特征在于,具备:包含所述多个化合物半导体层的层构造体;设置在所述层构造体的光入射面侧的二氧化硅膜;和在所述层构造体的光入射面侧隔着所述二氧化硅膜接合、相对于入射光为光学透明的玻璃基板。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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