[发明专利]利用液体注塑制造电子元件的方法有效
申请号: | 200480025606.5 | 申请日: | 2004-07-29 |
公开(公告)号: | CN1846303A | 公开(公告)日: | 2006-10-11 |
发明(设计)人: | T·程;M·多布采勒夫斯基;C·温戴特;D·索罗门 | 申请(专利权)人: | 陶氏康宁公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L21/58 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 刘明海 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 制造电子元件的方法包括重叠注塑半导体器件的液体注塑方法。该液体注塑方法包括:i)在敞模内放置半导体器件,ii)封闭模具,形成模具空腔,iii)加热该模具空腔,iv)注塑可固化的液体到模具空腔内,以重叠注塑半导体器件,v)打开模具并取出步骤iv)中的产物,和任选地vi)后固化步骤v)的产物。该半导体器件可具有通过小片连接粘合剂连接到基底上的集成电路。 | ||
搜索关键词: | 利用 液体 注塑 制造 电子元件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种方法,它包括:a)施加小片连接粘合剂组合物到基底上,b)固化该小片连接粘合剂组合物,形成小片连接粘合剂,c)等离子体处理小片连接粘合剂的表面,d)等离子体处理半导体小片的表面,和e)使半导体小片的等离子体处理表面与小片连接粘合剂的等离子体处理表面接触,任选地f)将半导体小片引线接合到基底上,g)在步骤f)的产物上注塑可固化的液体,任选地h)在与小片连接粘合剂相对的基底表面上形成焊球。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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