[发明专利]铈盐、其制造方法、氧化铈以及铈系研磨剂有效
| 申请号： | 200480025777.8 | 申请日： | 2004-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1849264A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 茅根环司;宫冈清二 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C01F17/00 | 分类号： | C01F17/00;C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 葛松生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了在6当量浓度的硝酸12.5g与30％过氧化氢溶液12.5g的混合液中溶解20g时，溶液中存在的不溶成分的浓度与溶解前的铈盐的质量比为5ppm以下的铈盐，以及将该铈盐进行高温处理后的氧化铈。另外，通过减少在氧化铈粒子及其原料铈盐粒子中含有的杂质数量而提高纯度，在使用含该氧化铈粒子的铈系研磨剂进行研磨时，可以减少被研磨面上产生的擦痕。 | ||
| 搜索关键词： | 铈盐 制造 方法 氧化 以及 研磨剂 | ||
【主权项】：
1.铈盐，其特征是，在6当量浓度的硝酸12.5g与30％过氧化氢溶液12.5g的混合液中溶解20g时，溶液中存在的不溶成分的浓度质量比是5ppm以下。
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