[发明专利]通过回流调节掩模

摘要

一种通过回流调节掩模的方法。作为在结构上实施该方法的步骤，在所述结构上形成的有机树脂掩模材料薄层中提供孔图案，以提供加工掩模。然后通过掩模中的开口实施加工步骤，在该加工步骤完成之后，通过回流工艺调整掩模，其中所述结构置于掩模材料溶剂的溶剂蒸气气氛中。通过回流加工，掩模材料软化并回流从而减小掩模中开口的尺寸，使得在其上执行加工步骤的表面区域的边缘被用于后续加工步骤的掩模所覆盖。

主权项

1.一种更改在结构上方形成的有机树脂掩模材料中的孔图案的方法，这种更改为在所述结构上进行加工的步骤，该方法包括以下步骤：a)通过在所述结构上方涂布有机树脂薄层(例如0.1-10μm)而形成掩模；b)在所述掩模上形成开口以提供孔图案；c)在通过掩模中的开口暴露出的所述结构的表面区域执行加工步骤；d)将所述结构置于掩模材料溶剂的溶剂蒸气气氛中，由此掩模材料软化并回流以减小掩模中开口的尺寸，使得在其上执行加工步骤的表面区域边缘被用于后续加工步骤的掩模所覆盖。