[发明专利]在有机树脂材料中形成开口的改进方法

摘要

将有机树脂材料如线型酚醛树脂薄膜(17)用作蚀刻掩模，并且以预定图案在掩模中形成开口(32)以允许在由所述开口限定的选择区域中进行加工。通过将腐蚀性蚀刻剂的液滴(76)图案涂布在将要形成开口的区域中而形成开口(32)，蚀刻剂例如是氢氧化钠(NaOH)或氢氧化钾(KOH)。使用喷墨打印机(90)涂布液滴(76)，该喷墨打印机(90)扫描整个有机树脂表面反复涂布所述液滴。液滴(76)的尺寸限定开口(32)的大小并且允许完全移除液滴(76)下方的有机树脂(17)。在蚀刻剂已经蚀刻贯穿有机树脂而暴露出下方表面(12)之后，将蚀刻剂从有机树脂和开口(32)中洗去。

主权项

1.一种以预定图案在有机树脂材料薄膜中形成开口从而形成蚀刻掩模的方法，该方法包括：a)将腐蚀性蚀刻剂液滴图案涂布在有机树脂材料薄膜表面上将要打开所述树脂膜的位置处；b)在蚀刻剂已经蚀刻穿过有机树脂而暴露出下方表面之后，将蚀刻剂从有机树脂膜和开口中洗去。