[发明专利]用于平板印刷仿真的系统和方法有效
| 申请号： | 200480026144.9 | 申请日： | 2004-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1849607A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 叶军;卢彦文;曹宇;陈洛祁;陈恂 | 申请（专利权）人： | 睿初科技公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G06F19/00;G06K9/36;G06K9/20;G03F1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐谦;杨红梅 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 这里描述和图示有许多发明。在一个方面中，本发明针对一种技术和系统，用于仿真、验证、检查、特征化、确定和/或评价平板印刷设计、技术和/或系统以及/或者由此执行的单独功能或其中使用的部件。在一个实施例中，本发明是一种系统和方法，该系统和方法加速了平板印刷系统和处理技术的光学特征和/或属性以及效果和/或相互作用的平板印刷仿真、检查、特征化和/或评价。在这点上，在一个实施例中，本发明利用一种包括专用硬件加速器(116a...116n)的平板印刷仿真系统架构(110)和一种包括整个平板印刷工艺的具体仿真和特征化的用以加速和促进掩模设计例如RET设计的验证、特征化和/或检查的处理技术，以验证该设计在最终的晶片图案上实现和/或提供了所需结果。系统(110)包括：(1)一个或多个通用型计算装置(114a、142a、142b)，用以在数据处理中执行具有分支和相互依赖的基于范例的逻辑，以及(2)加速器子系统(146a1...146ax、...、146n1...146nx)，用以执行多数计算密集任务。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平板 印刷 仿真 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于对由以预定配置排列的多个多边形组成的平板印刷设计进行仿真的系统，该系统包括：微处理器子系统，用以将所述多个多边形转换成其基于像素的位图表示，其中所述基于像素的位图包括像素数据，且其中每个像素数据代表具有预定像素尺寸的像素；以及加速器子系统，耦合到所述微处理器子系统，用以使用所述平板印刷设计的基于像素的位图表示，来计算所述平板印刷设计的空中图像的至少一部分，其中硬件加速器子系统包括配置为并行处理所述像素数据的多个可编程门阵列。
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