[发明专利]感光性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法有效

专利信息
申请号: 200480026212.1 申请日: 2004-12-15
公开(公告)号: CN1849560A 公开(公告)日: 2006-10-18
发明(设计)人: 前田浩辉;高桥亨;胜又直也 申请(专利权)人: 东京応化工业株式会社
主分类号: G03F7/029 分类号: G03F7/029;G03F7/038;C08G59/68
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 孙秀武;邹雪梅
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 将一种含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,作为图案形成组合物进行使用。 (式中,X1和X2表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基,它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基)。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 使用 图案 形成 方法
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其特征在于,其中含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂,[化学式1](式中,X1和X2表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者可以与取代基键合的烷氧基,并且它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基。)
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