[发明专利]感光性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法有效
申请号: | 200480026212.1 | 申请日: | 2004-12-15 |
公开(公告)号: | CN1849560A | 公开(公告)日: | 2006-10-18 |
发明(设计)人: | 前田浩辉;高桥亨;胜又直也 | 申请(专利权)人: | 东京応化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/029 | 分类号: | G03F7/029;G03F7/038;C08G59/68 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 孙秀武;邹雪梅 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 将一种含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,作为图案形成组合物进行使用。 (式中,X1和X2表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基,它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基)。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其特征在于,其中含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂,[化学式1]
(式中,X1和X2表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者可以与取代基键合的烷氧基,并且它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基。)
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