[发明专利]对沉积工艺部件进行处理以形成颗粒捕集器的方法和在其上具有颗粒捕集器的沉积工艺部件无效
| 申请号： | 200480026269.1 | 申请日： | 2004-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN1849409A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 金在衍;S·R·赛尔斯;J·K·卡多库斯;T·J·费兰 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;B08B7/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括用于沿物理气相沉积部件的表面形成颗粒捕集器的方法，且包括在其上具有颗粒捕集器的物理气相沉积部件。本发明可包括将高度可溶的介质用于进行珠光处理和/或可包括将金属材料用作珠光处理介质。本发明还可包括沿需要颗粒捕集器的靶座的区域形成插入件，且所述插入件具有在颗粒捕集性质方面优于所述靶座的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 工艺 部件 进行 处理 形成 颗粒 捕集器 方法 具有 | ||
【主权项】：
1、一种对沉积设备中的部件进行处理的方法，所述部件包括具有第一硬度的成分，所述方法包括使所述部件的表面受到由珠光处理介质进行的珠光处理，所述珠光处理介质包括具有大于或等于所述第一硬度的第二硬度的颗粒，所述颗粒主要包括金属合金和元素金属中的一种或两种。
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