[发明专利]产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备有效
| 申请号： | 200480026283.1 | 申请日： | 2004-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1849850A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | J·约恩克尔斯;D·M·沃德雷范格;W·内夫 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种通过电气操纵放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射。从金属熔融物质(24)产生该气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，且该金属熔融物质至少部分地被能量束、特别是激光束(20)蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 紫外 辐射 射线 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种通过电气操纵的放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射，其中从金属熔融物质(24)产生所述气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，并通过能量束、特别是激光束(20)至少部分地被蒸发。
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