[发明专利]可分开式调制器无效
| 申请号： | 200480026765.7 | 申请日： | 2004-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1853130A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·B·桑普塞尔;马克·W·迈尔斯;克拉伦斯·徐;马尼什·科塔里 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种可分开式调制器架构。所述调制器具有一在一空腔上方悬挂于一挠性层上的反射镜。所述挠性层还形成所述反射镜的支撑件及支撑柱。一替代的可分开式调制器架构具有一悬挂于一空腔上方的反射镜。所述调制器由支撑件及支撑柱来支撑。所述支撑柱包括一位于支撑柱插塞上方的挠性层。一总线结构可形成于设置在所述支撑柱上方的所述挠性层上。 | ||
| 搜索关键词： | 分开 调制器 | ||
【主权项】：
1、一种光调制器，其包括：一具有第一和第二表面的反射镜，其悬挂在一设置在所述第一表面下面的空腔上方；固定至所述反射镜的所述第二表面的支撑件；通过所述支撑件将所述反射镜悬挂于所述空腔上方的支撑柱，所述支撑柱及支撑件由一相同的材料层形成；及一电极及一光学堆叠，其从所述反射镜跨过所述空腔与所述第一表面相对地定位，以使所述电极的启动使所述反射镜朝所述电极移动，从而改变所述空腔的尺寸和干涉性质。
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