[发明专利]抗蚀化合物和辐射敏感组合物无效
| 申请号： | 200480026859.4 | 申请日： | 2004-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1853141A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 小黑大;越后雅敏 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C07D309/12;C07D311/82;C07D311/96;C07C43/23;C07C69/96;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 龙传红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 右式(1)表示的化合物，其中R1、R2、R4、R5、m0至m2、和n0至n2如说明书中所定义。还提供含有式(1)化合物作为固体组分的主要组分的辐射敏感组合物。该组合物敏感度、分辨率、耐热性、抗蚀性、和在溶剂中的溶解性极好。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 辐射 敏感 组合 | ||
【主权项】：
1.一种辐射敏感组合物，包含1-80重量％的固体组分和20-99重量％的溶剂，该组合物含有满足以下要求a和b的化合物B：(a)具有通过在由各自有5至45个碳原子的芳族酮或芳族醛与有6至15个碳原子和1至3个酚式羟基的化合物缩合反应产生的多酚化合物A的至少一个酚式羟基中引入酸解离官能团形成的结构，和(b)具有300至3000的分子量；而且化合物B和增溶剂的总量占固体组分总重的50-99.999重量％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱瓦斯化学株式会社，未经三菱瓦斯化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480026859.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种空气滤清器的滤芯
- 下一篇：无封条不锈钢板翅式换热器
