[发明专利]振动传感器无效

专利信息
申请号: 200480027160.X 申请日: 2004-09-08
公开(公告)号: CN1853090A 公开(公告)日: 2006-10-25
发明(设计)人: 安田护;杉森康雄 申请(专利权)人: 星电株式会社
主分类号: G01H11/06 分类号: G01H11/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨凯;刘宗杰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 可将固定电极和与固定电极相对地配置的振动电极3之间的静电容变化作为振动信号输出的振动传感器中,振动电极3在同一板构件上设置狭缝3a,形成仅用自重来振动变位的中央侧的振动膜部3b、位于周边侧的固定部3c及连接振动膜部3b和固定部3c的弹性支持部3d。
搜索关键词: 振动 传感器
【主权项】:
1.一种振动传感器,其特征在于:可将固定电极和与所述固定电极相对地配置的振动电极之间的静电容变化作为振动信号输出,其中,所述振动电极在同一板构件设置狭缝,并形成仅以自重而振动变位的中央侧的振动膜部、位于周边侧的固定部以及连接所述振动膜部和所述固定部的弹性支持部。
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