[发明专利]生产四氟硅烷的方法无效
| 申请号： | 200480027437.9 | 申请日： | 2004-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1856442A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 冈正和 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D53/22;H01L31/20;H01L21/205;C03B37/00;G01N30/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过用硫酸分解六氟硅酸生产四氟硅烷的方法，其包括：于第一反应器中在浓硫酸中分解六氟硅酸以生成SiF4和HF、并且将由此形成的SiF4取出的步骤1；将部分步骤1的包含HF的浓硫酸溶液转移至第二反应器以使HF与加入第二反应器SiO2反应、从而生产包含(SiF3)2O的SiF4的步骤2；和将步骤2包含(SiF3)2O和SiF4的产物加入第一反应器以使该反应产物中的(SiF3)2O与HF反应将其转化为SiF4、并且将所获得的SiF4与在步骤1形成的SiF4一起取出的步骤3。根据本发明，能够获得高纯SiF4，其中(SiF3)2O减少，且不含传统方法中作为难以解决的副产物产生的HF。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过用硫酸分解六氟硅酸生产四氟硅烷的方法，该方法包括：于第一反应器中在浓硫酸中分解六氟硅酸以生成四氟硅烷和氟化氢、并且将由此形成的四氟硅烷取出的步骤(步骤1)；将至少部分步骤1的包含氟化氢的浓硫酸溶液转移至第二反应器以使氟化氢与加入第二反应器的二氧化硅反应、从而生产包含六氟二硅氧烷的四氟硅烷的步骤(步骤2)；和将步骤2的包含六氟二硅氧烷和四氟硅烷的产物加入第一反应器以使该反应产物中的六氟二硅氧烷与氟化氢反应将其转化为四氟硅烷、并且将所获得的四氟硅烷与在步骤1形成的四氟硅烷一起取出的步骤(步骤3)。
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