[发明专利]对于反射和透射的空间外差干涉测量法(SHIRT)测量无效
| 申请号： | 200480027756.X | 申请日： | 2004-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1856746A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 格里高利·R.·汉森;菲利普·R.·宾汉;肯·W.·托宾 | 申请（专利权）人： | UT－巴特勒有限责任公司 |
| 主分类号： | G03H1/08 | 分类号： | G03H1/08;G01B9/021 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了用于对于反射和透射的空间外差干涉测量法(SHIRT)测量的系统和方法。方法包括：通过使用第一参考光束和第一物体光束数字记录第一空间外差的全息图；通过使用第二参考光束和第二物体光束数字记录第二空间外差的全息图；傅利叶分析数字记录的第一空间外差的全息图，以定义第一分析的图像；傅利叶分析数字记录的第二空间外差的全息图，以定义第二分析的图像；数字滤波第一分析的图像，定义第一结果；以及数字滤波第二分析的图像，定义第二结果；对第一结果执行第一逆傅利叶变换，和对第二结果执行第二逆傅利叶变换。第一物体光束透过至少是部分半透明的物体(940，1045)以及第二物体光束从物体反射。 | ||
| 搜索关键词： | 对于 反射 透射 空间 外差 干涉 测量 shirt | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：通过使用第一参考光束和第一物体光束数字记录包括用于傅利叶分析的空间外差条纹的第一空间外差全息图；通过使用第二参考光束和第二物体光束数字记录包括用于傅利叶分析的空间外差条纹的第二空间外差全息图；通过移位数字记录的第一空间外差的全息图的第一原始原点，以放置在由在第一参考光束与第一物体光束之间的第一角度定义的第一空间外差载波频率的顶点而傅利叶分析数字记录的第一空间外差全息图，以定义第一分析的图像；通过移位数字记录的第二空间外差的全息图的第二原始原点，以放置在由在第二参考光束与第二物体光束之间的第二角度定义的第二空间外差载波频率的顶点而傅利叶分析数字记录的第二空间外差全息图，以定义第二分析的图像；数字滤波第一分析的图像，以截止第一原始原点周围的信号，以定义第一结果；以及数字滤波第二分析的图像，以截止第二原始原点周围的信号，以定义第二结果；对第一结果执行第一逆傅利叶变换，以及对第二结果执行第二逆傅利叶变换，其中第一物体光束透过至少是部分半透明的物体以及第二物体光束从物体反射。
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