[发明专利]互连连接结构及相关制造方法有效
| 申请号： | 200480027948.0 | 申请日： | 2004-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1856877A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | K·戈勒;R·温策尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘春元;梁永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种互连连接结构，其包括第一互连(M1)、第二互连(M2)和将第一互连(M1)与第二互连(M2)电连接的多个连接元件(V)。根据本发明，相对于所述互连的重叠定位(I)，多个连接元件(V)在侧面被构成在第一和第二互连的至少一个侧面区域(S)中，而中心区域(Z)没有连接元件(V)。这样，可以显著地改善所述连接结构的电迁移特性并且可以提高载流能力。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 连接 结构 相关 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.互连连接结构，其包括被构成在第一互连平面中的第一互连(M1)；被构成在第二互连平面中的第二互连(M2)；将所述第一互连(M1)电连接到所述第二互连(M2)的多个连接元件(V)，其特征在于，相对于重叠的互连的重叠定位(I)，所述多个连接元件(V)在侧面被构成在所述第一和第二互连(M1，M2)的至少一个侧面区域(S)中，而中心区域(Z)没有连接元件(V)。
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