[发明专利]在光掩模上自动安装薄膜组件的系统和方法无效
| 申请号： | 200480029171.1 | 申请日： | 2004-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN101268349A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | E·M·弗赖;K·L·格里芬;B·A·维尔斯;P·A·亨德里克森;J·M·舍普勒 | 申请（专利权）人： | 凸版光掩膜公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;B30B1/00;G03B27/62;G03B27/42 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 顾珊;梁永 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于在光掩模上自动安装薄膜组件的系统和方法。该方法包括将光掩模装载到安装设备中，以及将薄膜组件装载到与该光掩模相对的安装设备的背板中。该背板包括至少一个测压元件，其测量由安装设备施加到光掩模和薄膜组件上的力。接收到与至少一个测压元件相关的所测量的力，并且如果所测量的力大于或近似等于最小力，则将薄膜组件安装在光掩模上以建立光掩模组件。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模上 自动 安装 薄膜 组件 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于在光掩模上安装薄膜组件的方法，包括：将光掩模装载到安装设备中；将薄膜组件装载到与该光掩模相对的安装设备的背板中，该背板包括至少一个测压元件，可操作用以测量由安装设备施加到光掩模和薄膜组件上的力；接收与该至少一个测压元件相关的所测量的力；以及如果所测量的力大于或近似等于最小力，则将薄膜组件安装在光掩模上以建立光掩模组件。
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