[发明专利]用于硫化物薄膜沉积的聚硫化物热蒸汽源

摘要

本发明是沉积用于电致发光装置的多元素硫化物薄膜磷组合物的低压物理汽相沉积方法，其中包括聚硫化物化合物的热源提供用于磷膜沉积和/或退火的硫类物质的来源。该方法对于采用具有高介电常数的厚膜介电层的彩色电致发光显示器特别有用。

主权项

1.一种在低压物理汽相沉积方法中提供硫类物质用于在沉积室内在基底上沉积含硫薄膜磷组合物的方法，该方法包括：—在沉积所述薄膜磷组合物过程中加热包括聚硫化物化合物的热源，以向沉积气氛内挥发硫类物质。