[发明专利]弹性体印模、使用此类印模的形成图案方法以及生产此类印模的方法无效
| 申请号： | 200480029810.4 | 申请日： | 2004-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN1867455A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | E·彼得斯;D·J·布洛尔;F·C·范登赫费尔;D·布尔丁斯基 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B41K1/50 | 分类号： | B41K1/50;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种利用油墨(520)在衬底(500)上印刷图案的弹性体印模(10)至少部分地由第一材料如PDMS形成。印模包括位于第一平面中的第一表面(12)、位于第二平面中的第二表面(14)以及从第一表面(12)向第二表面(14)延伸的第三表面(16)。第一表面(12)通常形成印模(10)的突出特征的接触表面，而第三表面(16)通常形成此类特征的边缘。第一表面(12)包括基本上不透油墨(520)的阻隔层(22)。任选地，第二表面(14)可载有另一个阻隔层(24)以用于抑制油墨(520)的气相扩散。相反，第三表面(16)能透过油墨(520)。因此，就得到了非常适用于边缘传递光刻型形成图案方式的印模(10)。印模的第一材料用作油墨容器，从而减少印模的重新加墨频率，层(22)防止油墨(520)不希望地扩散至衬底(500)的区域而与印模(10)接触，因此20改善了衬底表面上的特征清晰度。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性体 印模 使用 形成 图案 方法 以及 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于利用油墨(520)在衬底(500；502)上印刷图案的弹性体印模(10)，印模(10)至少部分地由第一材料形成，印模包括位于第一平面中的第一表面(12)、位于第二平面中的第二表面(14)以及从第一表面(12)向第二表面(14)延伸的第三表面(16)，油墨(520)能透过第三表面(16)，第一表面(12)包括基本上不透油墨(520)的阻隔层(22)。
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