[发明专利]微孔过滤器

摘要

一种基于激光的提供微孔过滤器(10)的钻孔技术，该微孔过滤器具有非常小的直径和位置已知的孔(30，30′)。该技术的一个实施例要求使用具有一个或多个均匀光斑尺寸的激光束(62)来形成每一个孔。该激光束在深度方向上烧蚀材料，进入衬底(12)相应的已知距离，从而在每个孔内形成所需数目的孔阶梯(32，38，44)。所述技术的另一实施例要求用压印图案化工具膜(80)，在对应于孔阶梯的具有指定直径和距离的衬底凹槽(32，38)进行压印。在这两个实施例中，具有高斯形状的激光束除去最后一部分材料，从而形成具有非常小直径的最后孔阶梯(44)。

主权项

1.一种微孔过滤器，包括：一柔软高分子膜，其具有大致平行的第一和第二主表面，这些主表面之间定义膜厚；及多个孔，所述孔在深度方向穿过所述膜厚而形成所述膜的微孔，从所述第一主表面到所述第二主表面以多个阶梯的形式构造所述多个孔的每个孔，所述多个阶梯具有减小的长轴尺寸。