[发明专利]校准方法有效
| 申请号： | 200480030304.7 | 申请日： | 2004-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1867430A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 足立胜;川边满德 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B25J9/10 | 分类号： | B25J9/10;B25J15/08;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;张友文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种求出传感器光轴相对于机器人手部的偏移并进行校准的方法，以及提供一种求出机器人手部相对于机器人手臂的偏移并进行校准的方法。其通过设置在机器人(1)手部(5)的传感器(6)检测出放置在收纳容器或搬运装置中半导体晶片装载位置上的示教夹具(11)，并为向前述机器人(1)示教前述半导体晶片位置而校准前述传感器(6)光轴(10)的校准方法，其特征在于：通过机器人(1)将示教夹具(11)放置在规定位置，通过传感器(6)检测出示教夹具(11)并推断示教夹具(11)的位置，求得放置示教夹具(11)的示教位置与前述推断值之间的差值。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种校准方法，其为通过设置在机器人手部的传感器检测出放置在收纳容器或搬运装置中半导体晶片装载位置上的示教夹具，并为向前述机器人示教前述半导体晶片的位置而校准前述传感器光轴的校准方法，其特征在于：通过前述机器人将前述示教夹具放置在规定位置，通过前述传感器检测出前述示教夹具并推断前述示教夹具的位置，求得放置前述示教夹具的示教位置与前述推断值之间的差值。
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