[发明专利]壳形激励器无效
| 申请号： | 200480030868.0 | 申请日： | 2004-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1951007A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 马克西姆·扎拉鲁丁诺夫;罗伯特·B·赖克恩巴赫;基思·奥宾;布赖恩·H·休斯顿;吉瓦克·M·帕皮亚;哈罗德·G·克雷格黑德 | 申请（专利权）人： | 康乃尔研究基金会有限公司;美国政府海军部 |
| 主分类号： | H03H9/00 | 分类号： | H03H9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;张志醒 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在衬底上形成微机械谐振器。谐振器具有部分球形壳，其在该壳的外面部分上被箝位到所述衬底。在其他实施例中，可以使用扁平圆盘或其他形状。在圆盘的所选择部分中诱导运动，诱导可容易检测的面外运动。在一个实施例中，使用激光器加热圆盘的所选择部分并且诱导运动。通过电容性或干涉技术能够检测该运动。 | ||
| 搜索关键词： | 激励 | ||
【主权项】：
1.一种微机械谐振器，包括：衬底；部分球形壳，其在该壳的外面部分上被箝位到所述衬底。
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