[发明专利]表面缺陷检查方法及装置无效
| 申请号： | 200480031046.4 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1871506A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 石川千惠;岩田真理;坂上护;黑木惠介 | 申请（专利权）人： | 大发工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面缺陷检查方法及装置，为了向被检查面照射规定的图案形状的照射光，利用处于被照射状态的上述被检查面的摄像图像检查上述被检查面，作为照射光，从照射面照射网眼状分布使各网眼内的形状相同，并且与光轴垂直的平面中的照射面积小于非照射面积的照射光，基于摄像图像中对应于被检查面的非照射区域的图像区域的明暗信息，检查被检查面，把在形成在网眼内的暗面内产生的中间亮度的明点作为缺陷候补点挑出。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面缺陷检查方法，向被检查面照射规定的图案形状的照射光，利用处于被照射状态的上述被检查面的摄像图像来检查上述被检查面，其特征在于，作为上述照射光，从照射面照射以下的照射光：呈网眼状分布以使各网眼内的形状相同，并且与光轴垂直的平面中的照射面积小于非照射面积，基于上述摄像图像中对应于上述被检查面的非照射区域的图像区域的明暗信息，检查上述被检查面。
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