[发明专利]外观检查装置无效
| 申请号： | 200480031728.5 | 申请日： | 2004-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1875263A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 野岛和久 | 申请（专利权）人： | 索尼碟片数位解决方案股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G11B7/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴丽丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过透镜(59)，使来自光源(58)的光形成为线形平行光束，并对准分光器(60)。一半入射光反射离开分光器(60)并垂直地落在光盘(65)的表面上的线形区上，并且通过分光器(60)透射另一半入射光，并使之倾斜地落在光盘(65)的表面上的线形区上。由第一照相机(62)检测垂直地落在光盘(65)的表面上的光量。入射光束和反射光束均垂直于光盘(65)的表面。因此，即使在表面上存在大的缺陷，第一照相机(62)也不生成虚像，从而能精确地测量缺陷的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种外观检查装置，包括：至少一个分光器，接收线形准直光束，将该线形准直光束分离成第一线形准直光束和第二线形准直光束，并将第一线形准直光束垂直地照射到检查对象的正面上的线形区；第一图像传感器，接收在该线形区中反射的第一线形准直光束的第一反射光束；至少一个反射镜，将第二线形准直光束倾斜地照射到该检查对象的正面上的所述线形区；以及第二图像传感器，接收在该线形区中反射的第二线形准直光束的第二反射光束。
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