[发明专利]用于元件表面连续处理的设备与处理方法无效

专利信息
申请号: 200480031868.2 申请日: 2004-11-03
公开(公告)号: CN1894086A 公开(公告)日: 2007-01-10
发明(设计)人: 福兰克·考伯特 申请(专利权)人: 维克多高级表面技术公司
主分类号: B29C59/14 分类号: B29C59/14;H01J37/32
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 代理人: 刘延喜
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 对由塑料、复合材料、矿物材料或玻璃制成的元件表面进行连续处理的设备,包括一个处理室(1)用以收容待处理元件,该处理室一方面连接抽气装置(2)以造成室(1)内减压,另一方面连接用于引导及循环等离子气体于该室(1)内的装置,所述设备还包括,处理室(1)的相对于所述等离子气体循环方向的上游,用于产生放电于所述等离子气体的装置(5),其特征在于:处理室(1)较低部包括一个底盘(14)用以收容待处理元件,该底盘可以移动于其以紧密方式封闭处理室(1)较低部的一个位置与底盘(14)距处理室(1)较低部一段充分距离的另一个位置之间,借此才可能放置所述的元件于该底盘(14)上。
搜索关键词: 用于 元件 表面 连续 处理 设备 方法
【主权项】:
1.对由塑料、复合材料、矿物材料或玻璃制成的元件表面进行连续处理的设备,包括一个处理室(1)用以收容待处理元件,该处理室一方面连接抽气装置(2)以造成室(1)内减压,另一方面连接用于引导及循环等离子气体于该室(1)内的装置,所述设备还包括,处理室(1)的相对于所述等离子气体循环方向的上游,用于产生放电于所述等离子气体的装置(5),其特征在于:处理室(1)较低部包括一个底盘(14)用以收容待处理元件,该底盘可以移动于其以紧密方式封闭处理室(1)较低部的一个位置与底盘(14)距处理室(1)较低部一段充分距离的另一个位置之间,借此才可能放置所述的元件于该底盘(14)上。
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