[发明专利]图案化的陶瓷薄膜和其制备方法无效
| 申请号： | 200480032117.2 | 申请日： | 2004-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN1882878A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | D·潘萨兰;D·拉扎洛夫;C·贝蒂 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;H01M8/12;H01M4/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吕彩霞;赵苏林 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种图案化的陶瓷薄膜(10)，其可用作离子传导性陶瓷、电极、硬陶瓷涂层、透明导体氧化物、透明半导体氧化物、铁电氧化物和介电氧化物。该陶瓷薄膜(10)可由液体前体溶液产生。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 陶瓷 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造图案化的陶瓷薄膜(10)的方法，包括：将液体前体溶液沉积到基底(14)上，从而形成液体薄膜(12)，该液体前体溶液具有至少一种溶解到光致抗蚀剂中的可溶的金属盐；图案化该液体薄膜(12)；和加热该图案化的液体薄膜(20，20′)，从而产生图案化的陶瓷薄膜(10)；其中图案化的陶瓷薄膜(10)适宜用作离子传导性陶瓷、电极、硬陶瓷涂层、透明导体氧化物、透明半导体氧化物、铁电氧化物和介电氧化物中的至少一种。
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