[发明专利]激光熔丝的结构及编程

摘要

本发明涉及用于制造激光熔丝的方法和结构及编程该激光熔丝的方法。该激光熔丝包括第一电介质层，其具有填充以第一自钝化导电材料的两个通孔。熔丝链位于所述第一电介质层上。所述熔丝链电连接所述两个通孔且包括具有暴露于激光束之后改变其电阻这一特性的第二材料。两个台位于所述熔丝链之上且在所述两个通孔正上方。所述两个台每个包括第三自钝化导电材料。该激光熔丝通过将激光束导向所述熔丝链而被编程。控制该激光束使得所述熔丝链的电阻响应于所述激光束对所述熔丝链的影响而改变，但所述熔丝链不被熔断。这样的电阻改变被检测到且被转换成数字信号。

主权项

1.一种用于形成电子结构的方法，包括步骤：在第一电介质层中形成至少两个通孔；以第一自钝化导电材料填充所述两个通孔；在所述第一电介质层上形成熔丝链层，所述熔丝链层包括具有暴露于激光束之后改变其电阻这一特性的第二材料；在所述熔丝链层之上形成台层，所述台层包括第三自钝化导电材料；及由所述熔丝链层和所述台层分别形成熔丝链和两个台，其中所述熔丝链电连接所述两个通孔，且所述两个台位于所述两个通孔正上方。