[发明专利]试样观察方法和显微镜、以及用于它们的固体浸没透镜和光学密着液无效
| 申请号： | 200480032462.6 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1875308A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 荒田育男;坂本繁;寺田浩敏 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01N13/14;G12B21/06 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 观察 方法 显微镜 以及 用于 它们 固体 浸没 透镜 光学 密着液 | ||
【主权项】：
1.一种试样观察方法，对试样进行观察，其特征在于，包含：透镜设置步骤，在使含有两亲分子的光学密着液介于其之间的状态下，将固体浸没透镜设置在试样上；透镜密着步骤，蒸发所述光学密着液，使所述固体浸没透镜和所述试样光学性地密着；画像取得步骤，通过所述固体浸没透镜取得被所述固体浸没透镜放大的所述试样的观察画像。
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