[发明专利]水性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200480033859.7 | 申请日： | 2004-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1882880A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 石垣聪;木村和弥;松木邦夫 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/032 | 分类号： | G03F7/032 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于制备印刷板的新型抗蚀剂组合物。本发明的水性抗蚀剂组合物含有(A)可溶于水或碱水溶液的树脂、(B)纤维素衍生物、(C)水和(D)含有羟基的有机溶剂，其中所述抗蚀剂组合物中的纤维素衍生物(B)的含量在0.001～1.0重量％的范围内，水(C)的含量在25～65重量％的范围内，以及含有羟基的有机溶剂(D)的含量在15～50重量％的范围内。根据本发明，通过使用特定量的水和特定溶剂可以形成具有平滑表面的高精度校直图案，同时保持抗蚀剂优异的粘合性和良好的粘性，甚至使用很少量的纤维素衍生物时也是如此。 | ||
| 搜索关键词： | 水性 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.水性抗蚀剂组合物，其含有(A)可溶于水或碱水溶液的树脂、(B)纤维素衍生物、(C)水和(D)含有羟基的有机溶剂，其中所述抗蚀剂组合物中的纤维素衍生物(B)的含量在0.001～1.0重量％的范围内，水(C)的含量在25～65重量％的范围内，以及含有羟基的有机溶剂(D)的含量在15～50重量％的范围内。
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