[发明专利]通过使用约束保护流体增加有机蒸汽喷射沉积的横向分辨率有效
| 申请号： | 200480033965.5 | 申请日： | 2004-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1883060A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | M·施泰因;S·R·福里斯特;J·米歇尔斯 | 申请（专利权）人： | 普林斯顿大学理事会 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种沉积有机材料的方法。在至少为载气的热速度的10％的流速下，从喷嘴中喷射出携带有机材料的载气，以便有机材料沉积在基底上。在一些实施方案中，在喷射过程中，在喷嘴与包围着载气的基底之间的区域内的动压力为至少1Torr，更优选10Torr。在一些实施方案中，本底压力为至少约10e－3Torr，更优选约0.1Torr，更优选约1Torr，更优选约10Torr，更优选约100Torr，和最优选约760Torr。本发明还提供一种器件。该器件包括喷嘴，所述喷嘴进一步包括具有第一排气孔和第一气体进口的喷嘴管道；和围绕喷嘴管道的夹套，所述夹套具有第二排气孔和第二气体进口。第二排气孔完全围绕第一管道孔。载气源和有机源容器可与第一气体进口相连。保护流体气体源可与第二气体进口相连。该器件可包括这样的喷嘴的排列。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 使用 约束 保护 流体 增加 有机 蒸汽 喷射 沉积 横向 分辨率 | ||
【主权项】：
1.一种沉积有机材料的方法，该方法包括：在至少为载气的热速度的10％的流速下，从喷嘴中喷射出携带有机材料的载气，以便有机材料沉积在基底上；其中在喷嘴与包围着载气的基底之间的区域内的动压力为至少1Torr。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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