[发明专利]光束变换元件、光学照明装置、曝光装置、以及曝光方法在审
| 申请号： | 200480034124.6 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1883029A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 豊田光纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;G03F7/20;G02B27/00;G02B27/28;G02B19/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种光学照明装置，不仅能有效地抑制光量损失，且能够形成圆周方向偏光状态的轮胎状的照明瞳分布。本发明的光学照明装置具有光束变换元件(50)，可依据入射光束而在所定面形成轮胎状的光强度分布。该光束变换元件用有旋光性的光学材料形成，且由依入射光束形成轮胎状光强度分布中的第一圆弧状区域分布的第一基本元件(50A)、形成第二圆弧状区域分布的第二基本元件(50B)、形成第三圆弧状区域分布的第三基本元件(50C)，以及形成第四圆弧状区域分布的第四基本元件(50D)所构成。各基本元件在沿光束的透过方向的厚度互异。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 变换 元件 光学 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光束变换元件，能够依据入射光束在所定面形成所定的光强度分布，其特征在于，该光束变换元件包括：第一基本元件，由有旋光性的光学材料制成，依据该入射光束，形成上述所定的光强度分布之中的第一区域分布；以及第二基本元件，由有旋光性的光学材料制成，依据该入射光束，形成上述所定的光强度分布之中的第二区域分布；其中，该第一基本元件与该第二基本元件，在沿光的透过方向的厚度互异。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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